特許
J-GLOBAL ID：200903026402443647
スピン乾燥機及びウェハ外周部研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
天野 正景
, 貞重 和生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172897
公開番号（公開出願番号）：特開2004-022660
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】ターンテーブルに送風構造を持ったスピン乾燥機において、ウェハとターンテーブルとでなす空間が一種の密閉状態になることを防止し、必要な翼面積を得、充分な風量を得ることができるようにして乾燥速度の低下することを防止することを課題とする。【解決手段】スピン乾燥機用のターンテーブル73には、スピン軸72に取り付けるための取付部を有するハブ部732、ハブ部732から放射状に延びるように設けられた複数の棒状のスポーク部733、スポーク部733の先端部に設けられた環状のリム部734、及び、円板状のワークWを支持するためリム部734に設けられた複数の支持片731が備えられており、このスポーク部733にはフィン736が設けられており、ターンテーブル73、支持片731、及びウェハWによって囲まれた空間内の気体を、各スポーク部733間に形成される開口を通して下方に排出する。【選択図】 図13
請求項（抜粋）：
スピン軸に取り付けるための取付部を有するハブ部、
上記ハブ部から放射状に延びるように設けられた複数の棒状のスポーク部、
上記スポーク部の先端部に設けられた環状のリム部、及び、
円板状のワークを支持するため上記リム部に設けられた複数の支持片、
を有するスピン乾燥機用のターンテーブルにおいて、
上記スポーク部には、上記ハブ部、上記スポーク部、上記支持片、及び、この支持片上に支持されているワークによって囲まれた空間内の気体を、各スポーク部間に形成される開口を通して(下方に)排出するために、フィンが設けられていること
を特徴とするスピン乾燥機用のターンテーブル。
IPC (3件)：
H01L21/304
, F26B5/08
, F26B11/18
H01L21/304 651B
, H01L21/304 621E
, H01L21/304 651L
, F26B5/08
, F26B11/18
3L113AA03
, 3L113AB08
, 3L113BA34
, 3L113DA10
