半導体検査用のファイバ増幅器ベースの光源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-529941
公開番号（公開出願番号）：特表2008-511177
出願日： 2005年08月16日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

半導体ウエハ検査システムやフォトマスク検査システムなどの検査システムに使用するレーザ照射器を提供する。照射器の利得媒体は光ファイバを備え、増幅と、ビームスプリッティングと、周波数および/または帯域幅の変換と、ピーク出力低下と、Qスイッチまたはモード同期となどを用いることができる。ドープファイバ、格子、飽和性吸収体、レーザダイオードを含む構成を開示して、照射を向上させる。

請求項（抜粋）：

試料検査システムに用いられる照射器であって、光エネルギーを受け取って該光エネルギーを試料に伝送するように構成された少なくとも1つの光ファイバを備えることを特徴とする照射器。

IPC (10件)：

H01S 3/06 , G01N 21/01 , H01L 21/66 , G01N 21/00 , G01N 21/39 , G01N 21/33 , H01S 3/109 , G02F 1/37 , G01N 21/84 , H01S 3/113

FI (10件)：

H01S3/06 B , G01N21/01 D , H01L21/66 J , G01N21/00 B , G01N21/39 , G01N21/33 , H01S3/109 , G02F1/37 , G01N21/84 E , H01S3/113

Fターム (28件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051BA01 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G059AA05 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH03 , 2G059JJ17 , 2G059JJ30 , 2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002BA01 , 2K002HA18 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 5F172AM08 , 5F172DD03 , 5F172EE15 , 5F172NR22

引用特許：

審査官引用 (9件)

レ-ザ装置並びにこのレ-ザ装置を用いた露光装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-063256 出願人：株式会社ニコン
照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-103309 出願人：リンテック株式会社
高エネルギーレベルを有する高ピークパワーを供給する光増幅器
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-526051 出願人：エスディーエルインク.

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