欠陥検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033158
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230926
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】表面欠陥と内部欠陥を同時に検出し、検出した欠陥の種類を特定し、凹凸性の表面欠陥の欠陥深さを検出できるようにする。【解決手段】光学探傷と超音波探傷を併用し、各探傷結果を被検査体10の各位置で比較し、超音波探傷波形の欠陥反射波のビーム路程を計測する。

請求項（抜粋）：

被検査体表面からの反射光量変化に基づく光学的探傷により、被検査体の表面欠陥を検出すると共に、被検査体内部に超音波を伝搬させた時の受信信号に基づく超音波探傷により、被検査体の内部欠陥及び表面欠陥を検出し、被検査体表面上の同一位置における前記2通りの検出結果を比較することにより、被検査体の表面欠陥と内部欠陥を判別することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (4件)：

G01N 29/10 501 , G01N 21/89 , G01N 29/08 501 , G01N 33/20

FI (4件)：

G01N 29/10 501 , G01N 29/08 501 , G01N 33/20 N , G01N 21/89 610 B

Fターム (23件)：

2G047AA06 , 2G047AA07 , 2G047AB04 , 2G047BA01 , 2G047BA03 , 2G047BC08 , 2G047BC10 , 2G047EA08 , 2G047GA21 , 2G047GB02 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CD07 , 2G051DA06 , 2G055AA01 , 2G055AA03 , 2G055BA07 , 2G055FA02 , 2G055FA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

超音波探傷方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-013492 出願人：川崎製鉄株式会社
超音波探傷方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-050097 出願人：川崎製鉄株式会社
移動被検体の検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038351 出願人：日立建機株式会社

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