特許
J-GLOBAL ID:200903026551494181
走査型レーザ顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-274504
公開番号(公開出願番号):特開2001-100103
出願日: 1999年09月28日
公開日(公表日): 2001年04月13日
要約:
【要約】【課題】光ビームを試料上に走査して画像を得る走査型レーザ顕微鏡において、高価な部材を用いずに、レンズ面反射等によるフレア光の影響を排除する。【解決手段】レーザ光源1 と、該光源1 から発せられる光ビームを試料15上に集光する対物レンズ14と、対物レンズ14からの集光した光で試料15上を走査する走査機構としての光偏向器4 ,5 と、試料15からの光を分離する偏光ビームスプリッタ3 及び1/4波長板12と、分離された試料15からの光を検出して画像信号を出力する検出器19と、出力された画像信号に基づく画像を表示するモニタとを備えた走査型レーザ顕微鏡であって、偏光ビームスプリッタ3 から検出器19までの光路上に、フレア光を除去するための別の偏光ビームスプリッタ20を配置する。
請求項(抜粋):
レーザ光源と、このレーザ光源から発せられる光ビームを試料上に集光する対物レンズと、この対物レンズからの集光した光で試料上を走査する走査機構と、上記試料からの光を分離する偏光ビームスプリッタ及び1/4波長板と、分離された上記試料からの光を検出して画像信号を出力する検出器と、この検出器から出力された画像信号に基づく画像を表示するモニタとを備えた走査型レーザ顕微鏡であって、上記偏光ビームスプリッタから上記検出器までの光路上に、フレア光を除去するための偏光ビームスプリッタを少なくとも1つ配置したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC11
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AF06
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
走査型光学顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-047410
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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走査ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-076783
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
絞り制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-249121
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
絞り制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-308605
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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審査官引用 (4件)
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走査型光学顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-047410
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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走査ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-076783
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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絞り制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-249121
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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絞り制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-308605
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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