特許

J-GLOBAL ID：200903026574059946

不動態化保護膜二重層

発明者： バジット, ササ ,  フォルタ, ジェームズ エー. ,  スピラー, エバーハンド エー.
出願人/特許権者： ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ カリフォルニア
代理人 (1件)： 門間 正一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-511257
公開番号（公開出願番号）：特表2005-516182
出願日： 2002年07月02日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

EUV反射性Mo/Si多層膜のための新規なキャッピング多層構造は、2つの層、すなわち、多層構造を環境から保護する上面層と、上面層と下方構造との間において拡散バリアとして作用する底面層と、からなる。一実施態様では、Ruの第1層をB4Cの第2層と組み合わせている。別の実施態様では、Ruの第1層をMoの第2層と組み合わせている。これらの実施態様は、反射率を向上するという付加的な利点をも有する。Ruは、今まで研究されてきたすべての材料のうちで最良の耐酸化性を有する。B4Cはシリサイド形成に対する優れたバリアであり、Si境界に形成されるシリサイド層は充分に制御される。

請求項（抜粋）：

多層膜反射コーティングと、 前記多層膜反射コーティング上にあり、相互拡散を少なくとも低減させる材料からなる底面層と、 前記底面層上にあり、前記多層膜反射コーティングを環境から保護する材料からなる上面層と、 から成ることを特徴とした不動態化保護膜二重層。

IPC (3件)：

G21K1/06 ,  G02B5/08 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G21K1/06 B ,  G21K1/06 C ,  G21K1/06 D ,  G02B5/08 A ,  H01L21/30 531A

Fターム (6件)：

2H042DA08 ,  2H042DA10 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  5F046GB01 ,  5F046GD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第5,958,605号
  

審査官引用 (3件)

• 極端紫外光学素子用のキャッピング層
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-195020   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ
• 極紫外リソグラフィー用の多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-519798   出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア
• 極紫外線リソグラフィー用の自己浄化光学装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-554754   出願人：イーユーヴィーリミテッドリアビリティコーポレーション