アクティブマトリクス型表示装置およびその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-062281
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249171
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】十分な補助容量を有し、且つ、開口率の高いアクティブマトリクス型表示装置を提供することを課題とする【解決手段】本発明においては有機性樹脂膜からなる層間絶縁膜101上に、補助容量110(無機層と接したブラックマスク104/無機層105/無機層と接する画素電極109)を形成する。

請求項（抜粋）：

アクティブマトリクス表示装置において、基板上にマトリクス状に配置された画素電極及びブラックマスクを有し、前記画素電極には薄膜トランジスタが接続され、前記薄膜トランジスタには容量が接続され、前記容量は、前記ブラックマスクと、該ブラックマスクと接する無機層と、前記無機層と接する前記画素電極とで構成されていることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 Z , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 618 C , H01L 29/78 619 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-217069 出願人：セイコーエプソン株式会社
アクティブマトリクス型液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-325892 出願人：カシオ計算機株式会社
表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-185640 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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