誘電材料で覆われたセラミックインシュレ-タを組込んだレ-ザチャンバ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040846
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】セラミックインシュレータ中の不純物がレーザチャンバを有害に汚染することが、高純度の絶縁コーティングにより防止される、ガス環境にさらされたレーザチャンバ中の、コーティングされたセラミックインシュレータ。【解決手段】絶縁コーティングが、セラミックインシュレータとガス環境との間の化学的相互作用を防止する。特に、該コーティングは、セラミックインシュレータ中の不純物による、レージングガスの汚染を防止する。

請求項（抜粋）：

レージング作用があるガスを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバの内側のインシュレータと、前記ガスに実質的に非反応性の、前記インシュレータ上の絶縁コーティングとを有するレーザシステム。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-287986
特開平4-163978
特開平2-189988

全件表示

前のページに戻る