特許
J-GLOBAL ID：200903026722052646
露光方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-184488
公開番号（公開出願番号）：特開2007-003861
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】 低コストでフォトレジストに対する中間調露光を実現できる露光方法を得る。 【解決手段】 空間光変調素子により変調した光を発する露光ヘッド166を用いて感光性材料(例えばフォトレジストが塗布されたガラス基板150)に露光光を照射し、それにより該感光性材料150を所定パターンに露光する露光方法において、露光ヘッド166と感光性材料150とを副走査移動させ、この副走査移動を1つの感光性材料150に対して少なくとも2回行い、副走査移動の各回毎に空間光変調素子の動作を制御して、感光性材料150に露光量が少なくとも2段階に異なる露光域を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
空間光変調素子により変調した光を発する露光ヘッドを用いて感光性材料に露光光を照射し、それにより該感光性材料を所定パターンに露光する露光方法において、
前記露光ヘッドから発せられた露光光を、前記感光性材料上の所定方向に延びる領域に照射するとともに、
前記露光ヘッドと感光性材料とを、前記所定方向と略直交する方向に相対移動させ、
この相対移動を1つの感光性材料に対して少なくとも2回行い、
前記相対移動の各回毎に前記空間光変調素子の動作を制御して、該感光性材料に露光量が少なくとも2段階に異なる露光域を形成可能とした露光方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2H097AA03
, 2H097AA11
, 2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097CA17
, 2H097FA07
, 2H097LA09
, 2H097LA12
