振動型角速度センサの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083800
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281771
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】エッチングにより形成される振動子の梁部の寸法を精度良く一定に保ち得ると共に、錘部の対称性を保って所定の固有周波数の振動子を安定性良く作成し得る高感度な振動型角速度センサの製造方法を提供すること。【解決手段】この製造方法の場合も、ギャップ形成工程でシリコン基板の一部にエッチングにより静電容量を得るためのギャップを形成し、ホウ素拡散工程でギャップの領域内に高濃度ホウ素拡散を行った後、エッチング工程でシリコン基板の反対面から高濃度ホウ素拡散部をエッチストップにして異方性エッチングを行うことで形成したダイヤフラムからドライエッチングによって所定のエッチング部をエッチングマスクにして一対の振動子9,10を形成するが、ここでのエッチング工程ではエッチング領域幅が一定になるようにダミーの島領域として形成した複数のマスク部1a,1bをエッチングマスクに設けるようにする。

請求項（抜粋）：

シリコン基板の一部にエッチングにより静電容量を得るためのギャップを形成するギャップ形成工程と、前記シリコン基板の反対面からエッチングを行うことで形成したダイヤフラムからドライエッチングによって所定のエッチング部をエッチングマスクにして一対の振動子を形成するエッチング工程とを含む振動型角速度センサの製造方法において、前記エッチング工程では、エッチング領域幅が一定になるように島領域として形成した複数のマスク部を前記エッチングマスクに設けることを特徴とする振動型角速度センサの製造方法。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (10件)

特表平5-508914
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-056901 出願人：日本電装株式会社
特開平2-067727

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