特許

J-GLOBAL ID：200903026844782564

欠陥検査装置及び方法

発明者： 二宮 孝浩 ,  井上 裕子 ,  阿部 茂
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371957
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183301
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 被検査物の微小な欠陥を簡単に確認することのできるレビュー方法及び装置を提供する。【解決手段】 明視野照明下で被検査物からの反射光を検出して被検査物の明視野画像を作成し、暗視野照明下で被検査物からの散乱光を検出して被検査物の暗視野画像を作成し、被検査物の暗視野画像及び被検査物の明視野画像を表示装置に同時に表示して被検査物の欠陥を確認する。暗視野画像は明視野画像に比べて微小な欠陥まで表示することができ、検査者は両画像を見比べて明視野画像では表示できない微小な欠陥が存在することを確認することができる。

請求項（抜粋）：

明視野照明下で検出した反射光から被検査物の明視野画像を作成する明視野画像作成手段と、暗視野照明下で検出した散乱光から被検査物の暗視野画像を作成する暗視野画像作成手段と、前記明視野画像及び前記暗視野画像を表示する表示手段と、前記暗視野画像作成手段で作成した被検査物の暗視野画像及び前記明視野画像作成手段で作成した被検査物の明視野画像を前記表示手段に同時に表示するように制御する表示制御手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/95 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/958

FI (6件)：

G01N 21/84 E ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/95 A ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/956 B ,  G01N 21/958

Fターム (49件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC03 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL21 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS01 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB05 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 検査方法及び検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-319331   出願人：オムロン株式会社
• 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-051069   出願人：住友金属工業株式会社
• 金属試料表面の外観検査方法および外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-195238   出願人：大日本印刷株式会社
• マクロ画像検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-110006   出願人：株式会社ニコン