特許
J-GLOBAL ID:200903026954450451
感光性樹脂組成物及び物品
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
岸本 達人
, 山下 昭彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-105443
公開番号(公開出願番号):特開2006-282880
出願日: 2005年03月31日
公開日(公表日): 2006年10月19日
要約:
【課題】 高分子前駆体、特にポリイミド前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に、十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記式(1)で表されるN-芳香族グリシン誘導体と高分子前駆体、を含有する感光性樹脂組成物である。【化1】(式中、符号Aを取り囲む円は芳香族環を表し、Ra、Rb、Rc、Rd及びReは、水素または1価の有機基であり、mは0以上の整数、nは1以上の整数、mとnの合計は芳香族環上の置換可能な位置の数である。)【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記式(1)で表されるN-芳香族グリシン誘導体と高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
C08L 79/04
, C08K 5/16
, G02B 5/20
, G03F 7/004
, G03F 7/037
, G03H 1/02
FI (6件):
C08L79/04 Z
, C08K5/16
, G02B5/20 101
, G03F7/004 503Z
, G03F7/037 501
, G03H1/02
Fターム (18件):
2H025AA03
, 2H025AA10
, 2H025AB01
, 2H025AB13
, 2H025AB14
, 2H025AB16
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BE00
, 2H025CB25
, 2H048BA48
, 2K008DD12
, 4J002CM021
, 4J002CM041
, 4J002EN096
, 4J002FD206
, 4J002GT00
引用特許: