特許
J-GLOBAL ID：200903027044383765

エッチング装置

発明者：
加賀 広持

加賀 広持 について

, 
林 俊雄

林 俊雄 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 打揚 洋次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305101
公開番号（公開出願番号）：特開2003-109947
出願日： 2001年10月01日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：
【要約】【課題】 印加高周波電場が互いに干渉することなく、高密度のプラズマを形成することができ、また、対向電極に所定の値の高周波電圧を印加することができ、マスクの耐性を向上させると共に、良好なエッチ速度を達成することが可能な、簡単な構造を有する安価なエッチング装置の提供。【解決手段】 基板電極と対向する位置に浮遊電極を設け、高周波電源からプラズマ発生用高周波アンテナコイルへ至る給電路の途中に分岐路を設けて、対向電極にコンデンサーを介して分岐した高周波電力を印加するように構成し、さらに、浮遊電極に印加される高周波電圧を一定に制御する機構を設ける。
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内の上部にプラズマ発生部、下部に基板電極部を設け、誘電体で構成されたプラズマ発生部側壁の外側に高周波電源に接続されたプラズマ発生用高周波アンテナコイルを設け、該基板電極部には別の高周波電源に接続されて高周波バイアス電力が印加される基板電極を設け、この基板電極に対向させて該プラズマ発生部内に対向電極を設けてなるエッチング装置において、該対向電極は該プラズマ発生部側壁の上部フランジに絶縁体を介して密封固着され、電位的に浮遊状態として構成された浮遊電極であり、該アンテナコイルとその高周波電源との間の給電路の途中に分岐路を設けて、この分岐路に設けた可変コンデンサーを介して該浮遊電極に高周波電力の一部が印加されるように構成し、そして、該浮遊電極に印加される高周波電圧をモニターし、この高周波電圧を一定に制御する機構を設けたことを特徴とするエッチング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
B01J 19/08 H ,  H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B
Fターム (18件)：
4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA43 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075EC21 ,  4G075FC15 ,  5F004AA15 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004DA00 ,  5F004DA23 ,  5F004DB02 ,  5F004DB03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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