特許
J-GLOBAL ID：200903027191397593

ウエハキャリアおよびそれを用いた太陽電池ウエハのはんだ付け処理方法

発明者：
阪上 修平

阪上 修平 について

, 
浅井 正人

浅井 正人 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356333
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319616
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 太陽電池ウエハ1枚あたりのはんだ付け処理に要する時間を短縮して太陽電池ウエハの生産効率を向上でき、さらにはんだディップ処理時のウエハ割れおよびキャリア搬送トラブルを無くすことができるウエハキャリアを提供すること。【解決手段】 ウエハキャリア20は、複数の金属製の側板21,23に囲まれ上下に開口を有する箱状体からなり、箱状体はその内部に複数の板状のウエハ100を平行に間隔を空けて収容するための収容部22を有し、各側板21,23は、箱状体内にウエハ100を収容して溶融はんだ槽に浸漬するときに溶融はんだが付着しないように表面処理されている。
請求項（抜粋）：
複数の金属製の側板に囲まれ上下に開口を有する箱状体からなり、箱状体はその内部に複数の板状のウエハを平行に間隔を空けて収容するための収容部を有し、各側板は、箱状体内にウエハを収容して溶融はんだ槽に浸漬するときに溶融はんだが付着しないように表面処理されていることを特徴とするウエハキャリア。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B23K 1/00 ,  B23K 1/00 330 ,  B23K 1/08 ,  B23K 3/00 310
FI (5件)：
H01L 21/68 V ,  B23K 1/00 B ,  B23K 1/00 330 E ,  B23K 1/08 K ,  B23K 3/00 310 L
Fターム (10件)：
4E080AA10 ,  4E080DA10 ,  5F031CA04 ,  5F031DA03 ,  5F031EA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031EA18 ,  5F031HA72 ,  5F031MA21
引用特許：
審査官引用 (5件)
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