特許
J-GLOBAL ID：200903027306780965
露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-017281
公開番号（公開出願番号）：特開2007-235112
出願日： 2007年01月29日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】露光光が照射されることによる露光装置を構成する部材の性能の劣化を低減し、優れた光学性能及び生産性を実現する露光装置を提供する。【解決手段】液体を介して基板を露光する露光装置において、前記基板の周囲に配置され前記液体を保持する液体保持板と、前記基板を保持するチャックとを有し、前記液体保持板の表面の少なくとも一部、および前記チャックの表面の少なくとも一部の少なくとも一方は、ポリパラキシリレン樹脂又はポリパラキシリレン樹脂の改質層であることを特徴とする構成とした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体を介して基板を露光する露光装置において、
前記基板の周囲に配置され、前記液体を保持する液体保持板と、
前記基板を保持するチャックとを備え、
前記液体保持板の表面の少なくとも一部、および前記チャックの表面の少なくとも一部の少なくとも一方は、ポリパラキシリレン樹脂又はポリパラキシリレン樹脂の改質層であることを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515G
, H01L21/30 515D
5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046CC08
