特許
J-GLOBAL ID：200903027324088521

基板搬送装置、それを用いたペースト塗布装置、及びペースト塗布方法

発明者：
小嶋 純一

小嶋 純一 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215577
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031642
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：
【要約】【課題】 製造工程ラインで搬送される基板の位置ずれ傾向から、ペースト塗布作業前に行われる基板の位置決め制御の効率化を図る。【解決手段】 先に受け渡された基板2の位置ずれ(角度α)に対応して、基板2を吸着保持するステージ41の向きをその位置ずれ方向に変えて、次の基板2を搬送ロボット3から受け取る。その受け取り後に、制御器46はX-Y-θ移動機構43を制御して、ステージ41をY軸方向に位置合わせを行う。その結果、位置ずれ傾向を有する基板2に対し、位置決め用のマーク21,22は、固定して設けられたCCDカメラ421a,422aの視野領域421a,422a内に収まる確率が向上し、ペースト塗布前における位置決め作業の効率化が図れる。
請求項（抜粋）：
搬送ロボットから受け渡された基板の向きを予め設定された向きに一致するように補正を行い、前記基板を加工位置に位置付け、加工後の前記基板を前記搬送ロボットに引き渡すステージを有する基板搬送装置において、前記ステージの移動調整により補正された基板の向きの補正量を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶された前記補正量を相殺するように前記ステージ位置を予め調整する調整手段とを具備し、前記調整手段により予め位置調整された前記ステージが、前記基板に続いて搬送されてくる他の基板を前記搬送ロボットから受け取り保持することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505
FI (5件)：
H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505
Fターム (39件)：
2H088FA03 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H089NA38 ,  2H089NA42 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01 ,  2H089TA06 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031HA60 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA27 ,  5F031JA38 ,  5F031JA51 ,  5F031KA05 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031KA15 ,  5F031LA12 ,  5F031MA03 ,  5F031MA21
引用特許：
審査官引用 (6件)
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