特許
J-GLOBAL ID：200903027437461911
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099872
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000973
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 可動膜で吐出液と発泡液とを分離する構成において、吐出効率を向上させる。【解決手段】 液体吐出ヘッド用基体1上には可動膜支持部材8が接合され、さらにその上に天板6が接合されて液体吐出ヘッドが構成される。可動膜支持部材8は、液流路を、吐出口11に連通し吐出液が供給される第1の液流路3と、発熱素子2上に配され発泡液が供給される第2の液流路4とに分離する可動分離膜5を支持する。可動膜支持部材8は基板から形成されるもので、この基板の表面に可動分離膜5の可動領域に対応した凹部を形成し、その基板の表面全体に可動分離膜5を形成した後、基板の裏面側から可動領域を含む部位を除去することによって、可動分離膜5は可動領域が液体吐出ヘッド用基体1に向かって弛んだ形状に形成される。
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するための吐出口と、該吐出口に吐出用の液体を供給する第1の液流路と、発泡用の液体が供給される第2の液流路と、該第2の液流路に配される気泡発生領域を形成するための発熱素子と、前記第1の液流路と前記気泡発生領域とを完全に分離し前記発熱素子上に発生する気泡によって変位する可動膜を支持する可動膜支持部材と、を備え、前記発熱素子からの熱エネルギーを利用して前記吐出口から液滴を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法において、前記可動膜支持部材を形成する工程は、前記可動膜支持部材となる基板の表面に前記可動膜の可動領域に対応した凹部を形成する工程と、前記凹部が形成された基板の表面全体に前記可動膜となる材料を設ける工程と、前記可動膜が設けられた基板の裏面側から前記基板の前記可動領域を含む部位を除去し、前記可動膜の前記可動領域部分に弛み形状を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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