特許
J-GLOBAL ID：200903027512070583

絶縁膜用樹脂組成物およびこれを用いた絶縁膜

発明者：
吉田 達弘

吉田 達弘 について

, 
岡沼 雅子

岡沼 雅子 について

, 
村田 満

村田 満 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180505
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354852
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：
【要約】【課題】 半導体用途において、熱特性、電気特性、吸水性に優れ、特に、比誘電率の極めて低い耐熱性の絶縁膜を提供する。【解決手段】 特定構造の繰り返し単位を有するポリアミドとオリゴマーとを必須成分とする絶縁膜用樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリアミドとオリゴマーとを必須成分とすることを特徴とする絶縁膜用樹脂組成物。【化1】(但し、式中のLおよびMは、L>0、M≧0、2≦L+M≦1000、及び0.05≦L/(L+M)≦1を満たす整数である。また、Xは式(2)、Yは式(3)、Zは式(4)で表される構造より、それぞれ選ばれる基を表す。)【化2】【化3】【化4】(但し、式(2)および式(4)中、X1は式(5)で表される構造より選ばれる基を示す。また、式(2)、式(3)、式(4)および式(5)の構造中、ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、フッ素原子、及びトリフルオロメチル基からなる群より選ばれる、少なくとも1個の基で置換されていても良い。)【化5】
IPC (8件)：
C08L 79/04 ,  C08G 73/22 ,  C08J 9/04 CFG ,  C08J 9/04 101 ,  C08L101/00 ,  H01B 3/30 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768
FI (9件)：
C08L 79/04 B ,  C08G 73/22 ,  C08J 9/04 CFG ,  C08J 9/04 101 ,  C08L101/00 ,  H01B 3/30 C ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/90 S ,  H01L 21/90 N
Fターム (104件)：
4F074AA32 ,  4F074AA48 ,  4F074AA50 ,  4F074AA57 ,  4F074AA76 ,  4F074AA78 ,  4F074BA29 ,  4F074CA29 ,  4F074CC04Y ,  4F074CC22X ,  4F074CC28Y ,  4F074CC29Y ,  4F074CC32Y ,  4F074DA03 ,  4F074DA47 ,  4J002BC032 ,  4J002BC092 ,  4J002BG062 ,  4J002CB002 ,  4J002CH022 ,  4J002CK022 ,  4J002CM021 ,  4J002GH00 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC145 ,  4J043QB34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SA81 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TA47 ,  4J043TA66 ,  4J043TA71 ,  4J043TA74 ,  4J043TB03 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA161 ,  4J043UA162 ,  4J043UA231 ,  4J043UA232 ,  4J043UA262 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA042 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA092 ,  4J043VA102 ,  4J043YA06 ,  4J043YA30 ,  4J043ZA05 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA23 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47 ,  4J043ZB60 ,  5F033RR21 ,  5F033RR29 ,  5F033SS22 ,  5F033XX24 ,  5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH01 ,  5F058AH02 ,  5G305AA07 ,  5G305AA11 ,  5G305AB10 ,  5G305AB24 ,  5G305AB26 ,  5G305BA09 ,  5G305BA18 ,  5G305CA20 ,  5G305CA32 ,  5G305CB28
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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