特許
J-GLOBAL ID：200903027557839543
有機薄膜発光素子の成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225892
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061386
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 欠陥の少ない有機薄膜発光素子を高い稼働率で製造することのできる有機薄膜発光素子の成膜装置を提供する。【解決手段】 電子と正孔の再結合により発光する有機発光層を有する有機薄膜発光素子の成膜装置において、成膜室内部の素子基板以外の部分であって、蒸着源から蒸発した有機または無機材料がダストとして付着する部分に存在する部品が同一の支持体に載置されてなるダスト付着組部品を交換自在に具備する。
請求項（抜粋）：
電子と正孔の再結合により発光する有機発光層を有する有機薄膜発光素子の成膜装置において、成膜室内部の素子基板以外の部分であって、蒸着源から蒸発した有機または無機材料がダストとして付着する部分に存在する部品が同一の支持体に載置されてなるダスト付着組部品を交換自在に具備することを特徴とする有機薄膜発光素子の成膜装置。
IPC (2件)：
C23C 14/24
, G09F 9/30 365
C23C 14/24 T
, G09F 9/30 365 B
