特許
J-GLOBAL ID：200903027713050831
塗液の塗布方法及び装置並びにプラズマディスプレイ部材の製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-390305
公開番号（公開出願番号）：特開2002-186893
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：
【要約】【課題】 基板表面と塗布ヘッドの間隙を常に一定に制御でき、基板表面に塗液を正確にしかも均一に塗布できる塗液の塗布装置および方法。【解決手段】 被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第1移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第2移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置において、前記テーブルまたは塗布ヘッドの塗布方向の相対位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段による塗布方向位置信号と前記高さ検出手段による前記基板の表面高さ信号を一時記憶する記憶手段とを設けるとともに、前記位置信号と前記表面高さ信号に基づき前記塗布ヘッドの高さを制御する高さ制御手段を設けたことを特徴とする塗液の塗布装置、および方法。
請求項（抜粋）：
被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第1移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第2移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置において、前記テーブルまたは塗布ヘッドの塗布方向の相対位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段による塗布方向位置信号と前記高さ検出手段による前記基板の表面高さ信号を一時記憶する記憶手段とを設けるとともに、前記位置信号と前記表面高さ信号に基づき前記塗布ヘッドの高さを制御する高さ制御手段を設けたことを特徴とする塗液の塗布装置。
IPC (7件)：
B05C 5/00 101
, B05B 1/14
, B05D 1/26
, B05D 3/00
, H01J 9/227
, H01J 11/02
, G03F 7/16 501
B05C 5/00 101
, B05B 1/14 Z
, B05D 1/26 Z
, B05D 3/00 D
, H01J 9/227 E
, H01J 11/02 B
, G03F 7/16 501
2H025AA18
, 2H025AB14
, 2H025CC15
, 2H025DA20
, 2H025EA04
, 4D075AC08
, 4D075AC09
, 4D075AC73
, 4D075AC82
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AE22
, 4D075CA47
, 4D075CB09
, 4D075DA07
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA14
, 4D075EC11
, 4F033AA01
, 4F033BA03
, 4F033CA04
, 4F033DA05
, 4F033EA01
, 4F033LA13
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB02
, 4F041BA05
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 5C028FF01
, 5C028FF14
, 5C040GG09
, 5C040JA02
, 5C040MA23
