汚染物質量の検査方法およびその検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-035574
公開番号（公開出願番号）：特開2005-227107
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】容器等の洗浄対象内部の汚染状態や洗浄度は、その内部に投入されて汚染物質を吸着する粒体の汚染状態(汚染物質の吸着量)と相関があるという考えに基づいて、洗浄対象内部の構成要素備品に影響を与えることなく、また前記洗浄対象の形状や大きさ等に影響されることなく、前記洗浄対象の内部の汚染状態や洗浄度を短時間に検査できるようにすること。【解決手段】付着性の粉体で汚染された容器内部の粉体汚染物質の残留量を計測する検査装置であって、前記容器内で粉体汚染物質を吸着し該容器から排出された粒体を保持し、かつ安定な状態に移行させる機能を備える粒体安定化手段と、前記粒体安定化手段により安定化された粒体の集合を照明する照明手段と、前記粒体安定化手段により安定化された粒体の集合の一部又は全域を撮影する撮像手段とを備えること。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

付着性の粉体で汚染された容器内部の粉体汚染物質の残留量を計測する検査方法であって、前記粉体汚染物質を表面に吸着する機能を備える粒体を容器内に供給し、前記容器内に供給した粒体を攪拌した後に、この粒体を容器外に排出し、前記容器外に排出した粒体を静止した状態に置いて該粒体の集合の画像を撮影し、この撮影した画像における画素値から前記粒体に吸着された粉体汚染物質量を計算し、この計算された汚染物質量から前記容器内部に残留している汚染物質量を推定すること、を特徴とする粉体汚染物質量の検査方法。

IPC (4件)：

G01N5/00 , B08B13/00 , G01N1/04 , G01N21/17

FI (4件)：

G01N5/00 Z , B08B13/00 , G01N1/04 Z , G01N21/17 A

Fターム (23件)：

2G052AD15 , 2G052AD35 , 2G052AD55 , 2G052BA02 , 2G052BA21 , 2G052FB02 , 2G052FB08 , 2G052GA11 , 2G052JA04 , 2G052JA06 , 2G052JA07 , 2G052JA09 , 2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB09 , 2G059EE02 , 2G059FF08 , 2G059HH02 , 2G059KK04 , 2G059MM03 , 2G059MM05 , 3B116AA23 , 3B116AB51

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第3166570号公報
部品清浄度評価方法とその装置および洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-100225 出願人：株式会社東芝, 芝浦メカトロニクス株式会社
流量調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-174449 出願人：株式会社ニシヤマ

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