電子源およびその製造方法ならびに平面撮像素子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-295437
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134144
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】シェーディングや解像度の低下が軽減された光導電型の平面撮像素子を実現することができる電子源およびその製造方法ならびに平面撮像素子を提供する。【解決手段】電子源10は、基板12上の領域が、光電変換部の走査領域に対応する矩形状領域A1と、非走査領域に対応する枠体状領域A2と、最外周の周辺領域A3とに分けられる。矩形状領域A1の第1のカソード電極14a〜14d上に、第1のゲート電極26a〜26dに対向して電子放出源32が形成されるとともに、枠体状領域A2の第2のカソード電極18a〜18d上等にも第2のゲート電極30に対向して電子放出源36が形成される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

透光性基板上に透明電極および光電変換膜を積層した構造を有する光電変換部と、該光電変換部の走査領域の各画素に対応させた電子放出源をマトリクス状に配置した電子源とを備えた光導電型の平面撮像素子に用いられる電子源であって、該光電変換部の走査領域の周辺部に対応する位置に電子放出源を設けてなることを特徴とする電子源。

IPC (5件)：

H01J29/04 , H01J9/02 , H01J31/38 , H01L27/14 , H04N5/30

FI (5件)：

H01J29/04 , H01J9/02 B , H01J31/38 B , H04N5/30 , H01L27/14 Z

Fターム (32件)：

4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA30 , 4M118DD01 , 5C024CX37 , 5C024CY42 , 5C024CY47 , 5C024EX02 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C037AA01 , 5C037AA09 , 5C037AB08 , 5C037AB23 , 5C127AA03 , 5C127BA03 , 5C127CC03 , 5C127CC04 , 5C127CC09 , 5C127CC10 , 5C127DD02 , 5C127DD05 , 5C127DD07 , 5C127DD08 , 5C127DD26 , 5C127DD52 , 5C127DD56 , 5C127DD57 , 5C127DD72 , 5C127DD78 , 5C127EE15 , 5C127EE20

引用特許：

審査官引用 (8件)

撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-179165 出願人：日立電子株式会社, 日本放送協会
電界放出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-116965 出願人：双葉電子工業株式会社
撮像装置及びその動作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-322911 出願人：日本放送協会, 株式会社日立製作所

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