特許
J-GLOBAL ID：200903028091833643

液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法および前処理方法ならびに大気圧プラズマ発生装置

発明者：
合田 晋二

合田 晋二 について

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阿部 良行

阿部 良行 について

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落合 貞光

落合 貞光 について

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伊藤 茂樹

伊藤 茂樹 について


出願人/特許権者：
エア・ウォーター株式会社

エア・ウォーター株式会社 について


代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-296521
公開番号（公開出願番号）：特開2004-102271
出願日： 2003年08月20日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】コストを低減することができる液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法を提供する。【解決手段】対向する高圧電極1aと低圧電極1bとの間に被処理体を配置させ大気圧プラズマによる処理を行う大気圧プラズマ発生装置内に、液晶ディスプレイ用ガラス基板Gを配置し、その装置内で発生した大気圧プラズマにより、上記ガラス基板Gの表面を洗浄する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対向する電極の間に被処理体を配置させ大気圧プラズマによる処理を行う大気圧プラズマ発生装置内に、液晶ディスプレイ用ガラス基板を配置し、その装置内で発生した大気圧プラズマにより、上記ガラス基板の表面を洗浄することを特徴とする液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法。
IPC (3件)：
G02F1/1333 ,  B08B7/00 ,  G02F1/13
FI (3件)：
G02F1/1333 500 ,  B08B7/00 ,  G02F1/13 101
Fターム (8件)：
2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC07 ,  2H090JC19 ,  3B116AA02 ,  3B116AB14 ,  3B116BC01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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