金属酸化物、その薄膜及びこれを製造する方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143206
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327310
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】ゾル-ゲル法により金属酸化物の薄膜或いは成型体を形成する場合に、高温での熱処理を必要とせず、耐熱性の低い基板上にも形成することが可能な金属酸化物薄膜及びその形成方法を提供することであり、これらの方法に基づいて各種の機能性材料或いは機能性膜を得ること及びこれら機能性材料或いは機能性膜の製造方法を提供することにある。【解決手段】金属アルコキシドまたは金属塩を主原料として得られる金属酸化物ゾルから金属酸化物ゲルを形成した後、該金属酸化物ゲルにプラズマ処理を行って製造したことを特徴とする金属酸化物、又これを得る為の製造方法。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドまたは金属塩を主原料として得られる金属酸化物ゾルから金属酸化物ゲルを形成した後、該金属酸化物ゲルにプラズマ処理を行って製造したことを特徴とする金属酸化物。

IPC (6件)：

C01B 13/32 , C01B 33/12 , C08J 7/00 302 , G02B 1/11 , G02B 1/10 , H01B 5/14

FI (6件)：

C01B 13/32 , C01B 33/12 C , C08J 7/00 302 , H01B 5/14 , G02B 1/10 A , G02B 1/10 Z

Fターム (59件)：

2K009AA02 , 2K009AA15 , 2K009BB14 , 2K009BB28 , 2K009CC03 , 2K009CC21 , 2K009DD02 , 2K009DD04 , 2K009EE03 , 4F073AA04 , 4F073AA14 , 4F073BA03 , 4F073BA22 , 4F073BA23 , 4F073BA24 , 4F073BA26 , 4F073BA28 , 4F073BA32 , 4F073BA33 , 4F073BA52 , 4F073BB01 , 4F073CA01 , 4F073CA02 , 4F073CA04 , 4F073CA61 , 4F073CA62 , 4F073CA63 , 4F073CA64 , 4F073CA65 , 4F073CA72 , 4F073FA01 , 4F073FA03 , 4F073FA07 , 4F073FA08 , 4F073FA13 , 4G042DA01 , 4G042DA02 , 4G042DB01 , 4G042DB16 , 4G042DB22 , 4G042DC03 , 4G042DD02 , 4G042DE07 , 4G042DE09 , 4G042DE14 , 4G072AA28 , 4G072BB09 , 4G072GG01 , 4G072GG02 , 4G072GG03 , 4G072HH30 , 4G072KK17 , 4G072PP05 , 4G072PP17 , 4G072RR25 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC03 , 5G307FC08

引用特許：

審査官引用 (11件)

多孔質ケイ素酸化物膜の製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-313668 出願人：旭化成工業株式会社
超微粒金属酸化物粉の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-255049 出願人：三菱化学株式会社
積層膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-019854 出願人：株式会社東芝

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