特許
J-GLOBAL ID:200903028151491933
ポジティブ型感光性ポリイミド前駆体およびこれを含む組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
八田 幹雄 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-401122
公開番号(公開出願番号):特開2002-284875
出願日: 2001年12月28日
公開日(公表日): 2002年10月03日
要約:
【要約】【課題】 溶解速度、透過度、物性および接着性に優れたポジティブ型感光性ポリイミド前駆体およびこれを用いた組成物を提供する。【解決手段】 ポリアミク酸のカルボキシル基の水素原子の一部が酸により解離可能な作用基で置換されたポリアミク酸エステルで、下記化学式1で表わされる1種以上の繰り返し単位を含み、少なくとも一方の末端が反応性末端封鎖単量体(end-capping monomer)で終結されたポリアミク酸エステル:【化1】(式中、R1およびR2はそれぞれ独立して水素または酸により解離可能な作用基であり、Xは4価の芳香族または脂肪族有機基であり、Yは2価の芳香族または脂肪族有機基であり、mは1以上の整数である。)。
請求項(抜粋):
ポリアミク酸のカルボキシル基の水素原子の一部が酸により解離可能な作用基で置換されてなるポリアミク酸エステルであって、下記化学式1で表わされる1種以上の繰り返し単位を含み、少なくとも一方の末端が反応性末端封鎖単量体(end-capping monomer)で終結されてなるポリアミク酸エステル:【化1】(式中、R1およびR2は、それぞれ独立して水素原子または酸により解離可能な作用基であり、Xは4価の芳香族または脂肪族有機基であり、Yは2価の芳香族または脂肪族有機基であり、mは1以上の整数である。)。
IPC (6件):
C08G 73/10 ZAB
, C08F299/02
, C08L 79/08
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075
, H01L 21/027
FI (6件):
C08G 73/10 ZAB
, C08F299/02
, C08L 79/08 A
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075
, H01L 21/30 502 R
Fターム (52件):
2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025CC03
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J002CM041
, 4J002CM042
, 4J002EB106
, 4J002EN136
, 4J002EQ036
, 4J002EV296
, 4J002EW176
, 4J002EY026
, 4J002FD146
, 4J027AD03
, 4J027AD04
, 4J027AD08
, 4J027AH03
, 4J027CB10
, 4J027CC05
, 4J027CD10
, 4J043PA02
, 4J043QB26
, 4J043QB31
, 4J043RA34
, 4J043SA06
, 4J043SA85
, 4J043UA082
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA141
, 4J043UA151
, 4J043UB011
, 4J043UB021
, 4J043UB022
, 4J043UB052
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB152
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043VA082
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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