反射屈折光学系

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-177858
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304705
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】像側における作動距離を十分に確保したもとで高い開口数を達成し、凹面鏡の小径化を図ること。【構成】第1面からの光は、正屈折力の第1群G11と、凹面鏡M1 と負レンズ成分とを有する正屈折力の第2群G12とを有する第1結像光学系G1 を介して中間像を形成する。中間像からの光は、縮小倍率を持つ第2結像光学系G2 を介して第2面上に第1面の縮小像を形成する。ここで、第1結像光学系G1 から第2結像光学系G2 へ到る光路中には光路偏向部材M2 が配置される。

請求項（抜粋）：

第1面の中間像を形成する第1結像光学系と、縮小倍率を有し前記中間像の像を第2面上に形成する第2結像光学系と、前記第1結像光学系から前記第2結像光学系へ到る光路中に配置され、前記第1結像光学系からの光を前記第2結像光学系へ導く光路偏向部材とを有し、前記第1結像光学系は、正屈折力の第1群G11と、凹面鏡と負レンズ成分とを有する正屈折力の第2群G12とを有し、かつ前記第1面からの光を前記第1群G11、前記第2群G12、前記第1群G11の順に導き、前記第1結像光学系と前記第2結像光学系との合成倍率は縮小倍率であることを特徴とする反射屈折光学系。

引用特許：

審査官引用 (13件)

反射屈折縮小投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-286516 出願人：株式会社ニコン
特開平4-021806
広フィールド露光光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047342 出願人：株式会社トプコン

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