特許
J-GLOBAL ID：200903028203085394

気相合成ダイヤモンドおよびその製造方法

発明者：
山本 喜之

山本 喜之 について

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吉田 健太郎

吉田 健太郎 について

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今井 貴浩

今井 貴浩 について

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熊澤 佳明

熊澤 佳明 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253873
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081586
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【目的】 ヒートシンクなどに適する高い熱伝導率を有するダイヤモンド膜とその低コストの製造方法を提供する事。【構成】基板の上にダイヤモンドを初め低速度で気相合成して粒径の大きい結晶を核発生させ、次いで高速度で気相合成して厚み方向に柱状結晶の粒径を増大させ、基板を除去することによってダイヤモンドの自立膜を作る。基板側を研削して基板側の結晶粒の小さい部分を除くとさらに良い。結果として結晶粒の大きい柱状結晶の集合としてのダイヤモンドが得られる。柱状の結晶であって粒径が大きく、厚み方向には粒界が少ないので厚み方向の熱伝導率κtが13W/cmK以上になる。2段階目での成長速度は大きいので成長速度はかなり大きく合成のコストも下げられる。従来のように熱伝導率を上げるには成長速度を下げるという方法によらないので、膜厚方向に高熱伝導率を持つダイヤモンドを低コストで作製することができる。ラマン散乱の1332cm-1ピークの半値幅が4cm-1以上であっても熱伝導率は13W/cmK以上の高いものが得られる。
請求項（抜粋）：
ラマン散乱分光法における波数1332cm-1のダイヤモンドのピークの半値幅が4cm-1以上であって、厚み方向の熱伝導率をκtとし、面内方向の熱伝導率をκlとした時、κt≧κlかつκt≧13W/cmKであることを特徴とする気相合成ダイヤモンド。
IPC (3件)：
C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56
FI (3件)：
C30B 29/04 A ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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