特許
J-GLOBAL ID：200903028222563671

分類装置、歩留管理システム、分類方法、基板製造方法およびプログラム

発明者：
浅井 浩

浅井 浩 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-250073
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085503
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】特定種類の欠陥の分類を容易に行う分類装置を提供する。【解決手段】分類装置1は、基板9を撮像する撮像部2、撮像部2から画像の信号が入力される演算部4、および、コンピュータ5を有し、演算部4は撮像部2が取得した被検査画像および参照画像を記憶する。また、演算部4において、被検査画像および参照画像から欠陥領域を示す欠陥領域画像が生成され、コンピュータ5において参照画像から基板9上の配線パターンの領域を示す分割領域画像が生成される。欠陥特徴量抽出部502では、欠陥領域画像と分割領域画像との画素毎の論理演算が行われ、欠陥領域と分割領域との重なり状態を示す評価値が求められる。そして、分類器503において評価値に基づく欠陥の分類が行われる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
対象物上の被検査パターンの欠陥を分類する分類装置であって、 対象物上の被検査パターンの欠陥領域を示す欠陥領域画像のデータ、および、参照パターンの存在領域を分割領域として示す分割領域画像のデータを記憶する記憶部と、 欠陥領域画像に基づく画像と分割領域画像に基づく画像との画素毎の論理演算を行って欠陥領域と分割領域との重なり状態を示す評価値を求める評価値算出部と、 評価値に基づいて被検査パターンに対する欠陥の分類を行う分類部と、 を備えることを特徴とする分類装置。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00
FI (3件)：
G01N21/956 Z ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300E
Fターム (50件)：
2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  2G051ED15 ,  2G051FA10 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE09 ,  5B057CE12 ,  5B057CF10 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC23 ,  5B057DC33 ,  5B057DC38 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096DA05 ,  5L096EA02 ,  5L096EA35 ,  5L096EA43 ,  5L096FA32 ,  5L096FA33 ,  5L096FA37 ,  5L096FA59 ,  5L096FA64 ,  5L096FA67 ,  5L096GA08 ,  5L096HA07 ,  5L096JA13
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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