圧力センサ用のダイヤフラム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-530466
公開番号（公開出願番号）：特表2001-508540
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】本発明は、環状の支持エレメントにダイヤフラム面を有する、圧力センサ用のダイヤフラムに関する。ダイヤフラム面は、別個に製作された、前処理された帯材(3)であり、この帯材は、やはり別個に製作された支持エレメント(4)に固定的に結合可能である。帯材(3)と、支持エレメント(4)としてのリングとは、互いにろう接されている。

請求項（抜粋）：

支持体にダイヤフラム面を有する、圧力センサ用のダイヤフラムにおいてダイヤフラム面が、特殊鋼帯から成る別個に製作された、前処理された部材(3)であり、該部材が、やはり別個に製作された支持エレメント(4)に固定的に結合可能であることを特徴とする、圧力センサ用のダイヤフラム。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-357881
圧力センサ素子の製造方法およびその圧力センサ素子を使用した圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-281803 出願人：エヌオーケー株式会社
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-118646 出願人：日本電装株式会社

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