プラズマリアクタ用ボロンカーバイド部品

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-334916
公開番号（公開出願番号）：特開平10-251871
出願日： 1997年11月19日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】プラズマリアクタ内の壁面その他の部品のための耐性を有する材料。【解決手段】プラズマリアクタ内の壁面その他の部品は少なくとも、ボロンカーバイド(好ましくはB4C)で構成される、プラズマに面する表面部を有している。ここでボロンカーバイドは、バルク材料であってもよく、あるいは裸の部材にコーティングした表面層であってもよい。ボロンカーバイドは熱スプレーないし溶射によるものが有利である。

請求項（抜粋）：

コンポジット構造体であって、アルミニウムベースの基板と、前記基板の上にコーティングされたボロンカーバイドの層とを有する構造体。

IPC (7件)：

C23C 30/00 , C23C 4/10 , C23C 28/04 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , C01B 31/36 , H01L 21/02

FI (7件)：

C23C 30/00 C , C23C 4/10 , C23C 28/04 , H01L 21/205 , C01B 31/36 Z , H01L 21/02 Z , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平1-208446
特開平1-312088
エッチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266156 出願人：東京エレクトロン株式会社

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