特許
J-GLOBAL ID：200903028364800387

力学量検出センサ及びその製造方法

発明者：
橋本 克美

橋本 克美 について

, 
森井 明雄

森井 明雄 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-128304
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308325
出願日： 2005年04月26日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】マイクロローディング効果の影響を抑制し、エッチングの均一性の向上が図られた力学量検出センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】力学量検出センサが、開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と、を有する第1の構造体と、前記変位部に接合され、かつ前記接続部に対応する凹部を有する重量部と、前記重量部を囲んで配置され、かつ前記固定部に接合される台座と、を有し、前記第1の構造体に積層して配置される第2の構造体と、前記変位部の変位を検出する変位検出部と、を具備する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と、を有する第1の構造体と、 前記変位部に接合され、かつ前記接続部に対応する凹部を有する重量部と、前記重量部を囲んで配置され、かつ前記固定部に接合される台座と、を有し、前記第1の構造体に積層して配置される第2の構造体と、 前記変位部の変位を検出する変位検出部と を具備することを特徴とする力学量検出センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/12 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/18
FI (5件)：
G01P15/12 D ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 A ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/00 K
Fターム (17件)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA25 ,  4M112CA29 ,  4M112CA31 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許公開2003-329702号公報、第0031段落及び第0040段落、並びに図2及び図8
審査官引用 (7件)
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