塗布装置および塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162966
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010048
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】液溜り量を一定に保つことでより均一な塗布膜厚を得ると共に基板端面部を塗布液で濡らさない。【解決手段】ノズル部材の前端面27と基板2の被塗布面2aのギャップ寸法を塗布時のギャップ寸法よりも狭くすることで毛細管現象が充分に働くようにしておき、バルブ47を一定時間のみ開状態とするだけで、ポンプ48にて近接ギャップ間に少量の塗布液22を供給後、毛細管現象によってその近接ギャップ上端まで液面が昇ると共に近接ギャップ下端まで液面が下降し、その近接ギャップ間に適量の液溜りを保有させる。その後の塗布時に、ノズル部材のノズル口9を所定ギャップ位置まで離間させて広げれば、そのギャップ寸法内容積の広がりに伴って同等量の塗布液22がノズル口9から供給されて、その所定ギャップ間に一定の液溜り量を確保することが可能となる。

請求項（抜粋）：

毛管現象で塗布液槽から汲み上げられた塗布液を、立設した基板の被塗布面に沿って塗布する塗布装置において、塗布液を貯留可能な塗布液槽と、この塗布液槽に一端が連通され外部流出口に他端が連通されて斜め上方に延びる塗布液流出路が前面壁部に配設されたノズル手段と、前記塗布液流出路内の流出圧力を加圧する加圧手段と、前記ノズル手段と基板の被塗布面とを接近または離間するように移動させるギャップ可変手段と、前記ノズル手段を前記基板の被塗布面の所定位置に近接または当接させるように前記ギャップ可変手段を制御した後に、前記外部流出口から少量の塗布液を供給するように前記加圧手段を制御し、前記ノズル手段を塗布時の所定ギャップ位置まで離間させるように前記ギャップ可変手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 5/02 , B05C 3/18 , B05D 1/26 , G02F 1/13 101 , G03F 7/16 501 , H01L 21/027

FI (6件)：

B05C 5/02 , B05C 3/18 , B05D 1/26 , G02F 1/13 101 , G03F 7/16 501 , H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板への塗布液塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-247331 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
サブストレートのコーティング又は被覆のための方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-335316 出願人：シュテークミクロテヒゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングシュテルネンフェルス
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003039 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝

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