基板処理装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015706
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214768
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】上方に積層された処理ユニットの状態を監視することが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】上方に積層された多数段の処理ユニットHPの上面に1対のレール51を配置し、レール51に沿って移動可能な水平移動部50を設け、水平移動部50のフレームに監視カメラ10を取り付ける。作業者は遠隔操作により監視カメラ10をレール51に沿って移動させ、所望の処理ユニットの状態を表示装置に表示させて監視する。

請求項（抜粋）：

垂直方向に複数段に配置され、基板に対して所定の処理を行う複数の処理部と、前記複数の処理部のうち上段側に配置された処理部の状態を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された状態を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H04N 7/18

FI (5件)：

H01L 21/30 562 , B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H04N 7/18 D

引用特許：

審査官引用 (11件)

ロボツト遠隔分散配置操作システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-307472 出願人：株式会社東芝
車両後方確認装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-209172 出願人：松下電器産業株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-024095 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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