液処理装置の自動設定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-147936
公開番号（公開出願番号）：特開2006-324677
出願日： 2006年05月29日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：

【課題】処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、供給量調節手段及び処理液吸引手段を自動で調整する液処理装置の自動設定装置を提供すること。【解決手段】レジストノズル110が供給するレジスト液をメスシリンダ210に貯留し、メスシリンダの側方から発光ダイオード211によって光を照射し、メスシリンダ内に透過された光をCCDセンサ213で検知して供給量を検出し、レジストノズル110の供給部113のレジスト液の状態をCCDカメラ300により検出し、電子天秤及びCCDカメラ300の検出信号と、CPU100に予め記憶された少なくともレジスト液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、レジストノズルがウエハWに均一にレジスト液を供給し得るように、開閉バルブAV及びサックバックバルブSVを調整する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被処理体の表面に処理液を供給する処理液供給手段と、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を調節可能な供給量調節手段と、上記処理液供給手段の処理液供給停止時に、処理液供給手段の供給部に残留する処理液を吸引する処理液吸引手段と、を具備する液処理装置の自動設定装置であって、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を検出する供給量検出手段と、上記処理液供給手段の供給部の処理液の状態を検出する液検出手段と、上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整する制御手段と、を具備してなり、上記供給量検出手段は、上記処理液供給手段から供給された処理液を貯留する光を透過可能な容器と、上記容器の側方から光を照射可能な発光手段と、上記発光手段が照射し容器を透過した光を受光して光量を検知する複数の画素が垂直方向に等間隔に設けられた光検知手段と、を具備することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 11/00 , B05C 11/10 , G01F 23/28

FI (5件)：

H01L21/30 564Z , B05C11/00 , B05C11/10 , H01L21/30 569Z , G01F23/28 L

Fターム (15件)：

2F014FA04 , 2F014FA10 , 4F042AA07 , 4F042AA10 , 4F042BA07 , 4F042BA12 , 4F042CB02 , 4F042CB03 , 4F042CC03 , 4F042CC08 , 4F042DH09 , 5F046JA01 , 5F046JA27 , 5F046LA03 , 5F046LA19

引用特許：

出願人引用 (1件)

塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-007919 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (10件)

レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-345996 出願人：ソニー株式会社
レジスト吐出システムとレジスト吐出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-083898 出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
液面計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-289800 出願人：関西電力株式会社, 日立電線株式会社

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