特許
J-GLOBAL ID：200903028660874531

照明光学装置および試料検査装置

発明者：
廣野 方敏

廣野 方敏 について


出願人/特許権者：
アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社

アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 について


代理人 (2件)： 松山 允之 ,  池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-090423
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249454
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【目的】少ない部品点数で構成されるため調整が容易で、被照射面における照度および照度均一性の高い、遠紫外線光源を用いる照明光学装置および試料検査装置を提供することを目的とする。【構成】遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、遠紫外線が入射され、第1の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第1の両面シリンドリカルレンズと、第1の両面シリンドリカルレンズから出射される第1の複数の光束が入射され、第1の複数の光束の方向を揃えて第2の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第2の両面シリンドリカルレンズと、第2の複数の光束が入射され、第2の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備することを特徴とする照明光学装置および試料検査装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、 前記遠紫外線光源から出射される前記遠紫外線が入射され、第1の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第1の両面シリンドリカルレンズと、 前記第1の両面シリンドリカルレンズから出射される前記第1の複数の光束が入射され、前記第1の複数の光束の方向を揃えて第2の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第2の両面シリンドリカルレンズと、 前記第2の複数の光束が入射され、前記第2の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備することを特徴とする照明光学装置。
IPC (4件)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/956 ,  G02B 3/06 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G01N21/84 E ,  G01N21/956 A ,  G02B3/06 ,  H01L21/30 527
Fターム (12件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  5F046CA08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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