特許
J-GLOBAL ID：200903028698138421

廃液処理方法

発明者：
川名 俊

川名 俊 について

, 
清水 哲二

清水 哲二 について


出願人/特許権者：
日本ファウンドリー株式会社

日本ファウンドリー株式会社 について


代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093474
公開番号（公開出願番号）：特開2001-276853
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：
【要約】【課題】 残留塩素によるエバポレータ内における腐食という問題を引き起こすことなく廃液中に含まれるNH4+を処理し、また、廃液中に遊離Br2などを始めとするハロゲン元素が含まれている場合はこれも除去する。【解決手段】 廃液をエバポレータに投入する前に、廃液槽に蓄積されている廃液に対してH2SO4を添加し、アルカリ性だった廃液をpH値が十分に低い酸性に変える。続いて、還元処理として、この溶液にNa2S2O3を添加する。H2SO4を添加するのは、再利用する凝縮水からNH4+を除去するためであるが、従来のように塩素の発生がないので、エバポレータの構成部品が塩素によって腐食されることはない。次に、Na2S2O3を添加すると、廃液中に含まれる遊離Br2は、Br-に還元される。したがって、この廃液をエバポレータに供給しても、遊離Br2によるエバポレータを構成する金属の全面腐食が防止される。
請求項（抜粋）：
アンモニアを含む廃液をエバポレータを用いて処理する廃液処理方法において、前記廃液をエバポレータに投入する前に、硫酸を添加して前記廃液を酸性にすることを特徴とする廃液処理方法。
IPC (4件)：
C02F 1/70 ZAB ,  C02F 1/04 ,  C02F 1/06 ,  C02F 1/58
FI (4件)：
C02F 1/70 ZAB Z ,  C02F 1/04 C ,  C02F 1/06 ,  C02F 1/58 P
Fターム (20件)：
4D034AA27 ,  4D034BA01 ,  4D034CA13 ,  4D034CA21 ,  4D038AA08 ,  4D038AB12 ,  4D038BA04 ,  4D038BB02 ,  4D038BB15 ,  4D050AA13 ,  4D050AB35 ,  4D050AB44 ,  4D050AB45 ,  4D050AB46 ,  4D050BA07 ,  4D050BD06 ,  4D050BD08 ,  4D050CA01 ,  4D050CA02 ,  4D050CA13
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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