特許
J-GLOBAL ID：200903028846040320
マイクロミラーアクチュエーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-149411
公開番号（公開出願番号）：特開2004-102227
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】2軸自由度を有し、静電力により駆動されるマイクロミラーアクチュエータを提供する。【解決手段】絶縁層が形成された基板と、絶縁層上にそれぞれ設けられる2つの下部ポストと、下部ポストの上面に跨るように設けられる第1のトーションバーと、第1のトーションバーと直交するように設けられる第2のトーションバーと、第1のトーションバーと第2のトーションバーとの交差により画成される領の内側にそれぞれ位置するように絶縁層上にそれぞれ設けられる4つの電極と、第2のトーションバーの上面にそれぞれ設けられる2つの上部ポスト、及び上部ポストの上面に跨ることで上部ポストにより支持固定されるように設けられるマイクロミラーから構成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁層が形成された基板と、所定の距離を隔てて前記絶縁層上にそれぞれ設けられる2つの下部ポストと、前記下部ポストのそれぞれの上面に跨るように設けられる第1のトーションバーと、前記第1のトーションバーと直交するように設けられる第2のトーションバーと、前記第1のトーションバーと前記第2のトーションバーとの交差により画成される領域の内側にそれぞれ位置するように前記絶縁上にそれぞれ設けられる4つの電極と、自己の上面のそれぞれが前記電極の上面より高い位置にあるように、前記第2のトーションバーの上面にそれぞれ設けられる2つの上部ポスト、及び前記上部ポストの上面に跨ることで前記上部ポストにより支持固定されるように設けられるマイクロミラーとを含むことを特徴とするマイクロミラーアクチュエーター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
審査官引用 (1件)
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Lucent Microstar micromirror array technology for large optical crossconnects
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