一体化センサを備えたモノリシックシリコン・レートジャイロ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河上紘範
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-523601
公開番号（公開出願番号）：特表平9-512904
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】好ましい実施例において、4端子ピエゾ捻れセンサ(111)により制御され、捻れヒンジ(103)により内側フレーム(105)に接続された、かなりの振幅で自己共振する外側捻れフレーム(101)を有するモノリシック単結晶Siレートジャイロが開示される。内側フレーム自体は、捻れヒンジ(103)の軸を規定する一組の捻れヒンジ(107)により固定内部ポスト(117)に接続される。外側体の揺動(振動)軸の回転により、運動質量体及び内側フレームは、コリオリ力により外側周波数で傾動及び揺動(振動)し、それによって内側ヒンジをそれが捻れるように周期的に変形する。内側ヒンジは、同様に、4端子ピエゾ電圧捻れセンサ(115)を備え、センサの回転速度の表示を与える。この設計は、外側揺動(振動)子の実質的揺動、その高い慣性モーメント、優れたSiバネ特性及び捻れセンサの優れた感度により、良好な感度を許容する。

請求項（抜粋）：

次の構成要素から成る振動ジャイロスコープ・シリコン変換器: その頭部がx-y平面を規定する固定シリコン微細加工内部ポスト; 上記ポストを囲繞し且つ該ポストに一組の単結晶シリコンヒンジで接続された第一のシリコンフレーム、ここで該ヒンジは第一の軸を規定する; 前記ポストと上記シリコンフレームを囲繞し且つ同様の一組のヒンジを通して上記シリコンフレーム接続された第二のシリコンフレーム、ここで上記同様のヒンジは前記第一の軸と直角な第二の軸を規定し、上記第二のフレームは振動質量を規定する; 各対のシリコンヒンジの少なくとも一つのヒンジの表面に組み込まれ且つ剪断応力に感応し、それによってヒンジ内の捻れを感知出来る4端子ピエゾ電圧センサ; 揺動(振動)用正のフィードバック素子として前記外側ヒンジ内の少なくとも一つのピエゾセンサを用いて、前記外側フレームを一定の振幅で前記第二の軸の周りに、その固有共振周波数で揺動(振動)せしめる駆動手段;及び前記内側ヒンジの少なくとも一つに組み込まれ、前記x-y平面に直角なz-軸の周りに回転される時、上記外側揺動(振動)フレーム上のコリオリ力により生ずる前記第一の軸の周りの前記内側ヒンジの回転を測定するように配置され、それにより上記z-軸の周りの回転速度の表示を与える第二の捻れセンサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/12

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/12

引用特許：

審査官引用 (5件)

角速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-156337 出願人：ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
半導体チツプ運動変換器及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-040785 出願人：ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社

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