ネガ型感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198817
公開番号（公開出願番号）：特開平7-036179
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、および色素を含有する感光性樹脂組成物において、前記色素が分子内に助色団として三級アミノ基を有してもよい色素である感光性樹脂組成物。【効果】上記感光性樹脂組成物を用いることにより、露光、PEB時の許容度が高く、かつ高感度であり、特にTFTパネル等の表示装置の製造時において視認性が良く、寸法安定性、密着性も良いのでエッチャントのしみ込みのない良好な感光性樹脂組成物を提供できる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、および色素を含有する感光性樹脂組成物において、前記色素が分子内に助色団として三級アミノ基を有してもよい色素であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 503 , G02F 1/1335 , G03F 7/029 , G03F 7/038 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-178648
特開平3-229255
特開平4-163552

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