特許

J-GLOBAL ID：200903028921790608

電子素子用有機-無機複合絶縁材料、およびその製造方法、並びにそれを用いた電界効果トランジスタ

発明者： 岡田 晋輔 ,  平方 昌記 ,  渡辺 美穂 ,  重松 大志 ,  大間 茂樹 ,  真鍋 力
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (5件)： 中村 智廣 ,  成瀬 勝夫 ,  小泉 雅裕 ,  青谷 一雄 ,  鳥野 正司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-373200
公開番号（公開出願番号）：特開2006-179776
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】 作製プロセスに対する高適応性や低コスト化を実現しつつ、フレキシビリティに優れ、かつトランジスタ等の電気素子における高性能化を支え得る誘電率や耐電圧を有する電子素子用有機-無機複合絶縁材料、およびその製造方法、並びにそれを用いた電界効果トランジスタを提供すること。【解決手段】 有機高分子またはその溶液と金属アルコキシドまたはその溶液との混合溶液を出発原料とし、前記有機高分子の存在下で前記金属アルコキシドをゾル-ゲル反応させることを特徴とする電子素子用有機-無機複合絶縁材料の製造方法、および当該製造方法により製造された電子素子用有機-無機複合絶縁材料、並びにそれを用いた電界効果トランジスタである。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

有機高分子またはその溶液と金属アルコキシドまたはその溶液との混合溶液を出発原料とし、前記有機高分子の存在下で前記金属アルコキシドをゾル-ゲル反応させることを特徴とする電子素子用有機-無機複合絶縁材料の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/312 ,  H01L 29/786

FI (3件)：

H01L21/316 G ,  H01L21/312 A ,  H01L29/78 617T

Fターム (43件)：

5F058AA10 ,  5F058AC06 ,  5F058AD07 ,  5F058AD10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH01 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC05 ,  5F058BC20 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BD07 ,  5F058BD19 ,  5F058BF46 ,  5F058BH04 ,  5F058BJ01 ,  5F110AA30 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE14 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110FF01 ,  5F110FF06 ,  5F110GG01 ,  5F110GG05 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5G303AA05 ,  5G303AB02 ,  5G303AB06 ,  5G303AB20 ,  5G303BA02 ,  5G303CA11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許3515507号
  
• 電子部品及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-145013   出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (2件)

• 無機ポリマ薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232303   出願人：株式会社日立製作所
• チタン酸ジルコン酸鉛薄膜の製造方法及びそれを用いた薄膜デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-019128   出願人：セイコーエプソン株式会社