金属酸化物膜つきフィルムの製造方法および製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-325056
公開番号（公開出願番号）：特開2003-129229
出願日： 2001年10月23日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】本発明は、フィルムの巻取式の蒸着方法であって、蒸着金属を溶融蒸発させ、その途中で酸素を導入して金属酸化物膜を得る蒸着方法で、特に薄ものフィルムに対して、金属を十分に酸化させ厚い金属酸化物膜を設ける方法を提供する。本発明は、また、2〜6μm厚さといった薄ものフィルムの強度を補強し、特に磁気記録媒体用フィルムに対して強度を補強する方法を提供する。DO個数が少なく、走行耐久性に優れた磁気記録媒体、特にDVC-LPテープを製造するために好適な磁気記録媒体用支持体を提供する。【解決手段】金属を溶融させた蒸発源の上方に冷却キャンを配置させ、巻出手段から被蒸着フィルムを該冷却キャンに沿わせて搬送させ蒸発蒸気にさらし金属酸化物を形成した後、巻取手段にて巻き取る薄膜形成方式であって、該蒸発源の湯面と被蒸着フィルムとの最短距離hに対して、該湯面から0.6〜0.9×hの高さで、該湯面の鉛直部を含みかつ該湯面部の大きさの1.5倍以上の開口部から金属蒸気を通過させ、該開口部と冷却キャンの間から、酸素を導入する。

請求項（抜粋）：

金属を溶融させた蒸発源の上方に冷却キャンを配置させ、巻出手段から被蒸着フィルムを上記冷却キャンに沿わせて搬送させ蒸発蒸気にさらし金属酸化物を形成した後、巻取手段にて巻き取る薄膜形成方式であって、前記蒸発源の湯面と被蒸着フィルムとの最短距離hに対して、該湯面から0.6〜0.9×hの高さで、該湯面の鉛直部を含みかつ該湯面部の大きさの1.5倍以上の開口部から金属蒸気を通過させ、該開口部と冷却キャンの間から酸素を導入することを特徴とする金属酸化物膜つきフィルムの製造方法。

IPC (5件)：

C23C 14/24 , C23C 14/08 , C23C 14/20 , G11B 5/73 , G11B 5/84

FI (5件)：

C23C 14/24 N , C23C 14/08 , C23C 14/20 A , G11B 5/73 , G11B 5/84 Z

Fターム (28件)：

4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA43 , 4K029BD11 , 4K029CA02 , 4K029DA03 , 4K029DA06 , 4K029DB19 , 4K029DB20 , 4K029EA01 , 4K029KA01 , 5D006CB01 , 5D006CB03 , 5D006CB04 , 5D006CB07 , 5D006CB08 , 5D006EA03 , 5D006FA00 , 5D006FA02 , 5D006FA05 , 5D006FA09 , 5D112AA02 , 5D112AA22 , 5D112AA30 , 5D112BA01 , 5D112BA05 , 5D112BA09 , 5D112FA02

引用特許：

審査官引用 (5件)

金属酸化物蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097641 出願人：東レ株式会社
特公平7-042577
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051964 出願人：株式会社シンクロン

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