特許

J-GLOBAL ID：200903029065338800

電気光学装置及びその製造方法並びに基板装置及びその製造方法

発明者： 村出 正夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377695
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182238
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 基板上で積層構造をなし且つ相互に層間絶縁される配線、電極、素子等間を、接続個所及びその周辺における当該積層構造の上層に凹凸が殆ど生じないように相互に接続する。【解決手段】 電気光学装置は、TFTアレイ基板(10)上に、画素電極(9a)と、これに接続されたTFT(30)と、これに接続されたデータ線(6a)とを備える。基板に凸部(501)が形成されており、TFTのソース領域及びデータ線間の層間絶縁膜(41、42)は、この凸部に対向する個所において除去されて、両者間の電気的な接続がとられている。

請求項（抜粋）：

一対の第1及び第2基板間に電気光学物質が挟持されてなり、前記第1基板上に、画素電極と、該画素電極に接続されたスイッチング素子と、該スイッチング素子に接続された配線と、前記画素電極、前記スイッチング素子及び前記配線間に形成された層間絶縁膜と、前記画素電極、前記スイッチング素子及び前記配線間で、電気的に接続された接続部とを備えており、前記第1基板の前記接続部の少なくとも1つの領域に凸部が形成されてなり、前記凸部で前記接続部の下方側接続部は隆起され、前記下方側接続部上の前記層間絶縁膜は除去されて上方側接続部と電気的に接続されていることを特徴とする電気光学装置。

IPC (4件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 ,  H01L 29/786

FI (4件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 A ,  H01L 29/78 612 C

Fターム (94件)：

2H092GA48 ,  2H092GA51 ,  2H092GA59 ,  2H092HA25 ,  2H092JA25 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA36 ,  2H092JA39 ,  2H092JA43 ,  2H092JB07 ,  2H092JB27 ,  2H092JB54 ,  2H092JB58 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA10 ,  2H092KA12 ,  2H092KB02 ,  2H092KB04 ,  2H092KB13 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA08 ,  2H092MA17 ,  2H092MA25 ,  2H092MA29 ,  2H092MA37 ,  2H092NA04 ,  2H092NA07 ,  2H092NA19 ,  2H092NA27 ,  2H092PA02 ,  2H092PA03 ,  2H092PA09 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092QA07 ,  2H092QA15 ,  2H092RA05 ,  5C094AA10 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094FB15 ,  5F110AA16 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD21 ,  5F110EE09 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG47 ,  5F110HL03 ,  5F110HL05 ,  5F110HL14 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110HM19 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN26 ,  5F110NN35 ,  5F110NN44 ,  5F110NN46 ,  5F110NN54 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP02 ,  5F110PP10 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ19

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-307645   出願人：三洋電機株式会社
• 特開平4-268536
  
• 半導体装置及びアクティブマトリクス基板およびそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-241939   出願人：キヤノン株式会社
• 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-250128   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平4-324938
  
• アクティブマトリクス基板およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-264201   出願人：シャープ株式会社
• 液晶装置及びその製造方法並びに電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-020001   出願人：セイコーエプソン株式会社