特許

J-GLOBAL ID：200903029072303370

偏心中空ウエハ保持棒と該保持棒を用いたウエハ保持装置の製造方法

発明者： 荒木 逸男 ,  内川 一哉 ,  松谷 利勝 ,  奥山 義政
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  株式会社山形信越石英
代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097275
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294621
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 精度良く且つ高品質に耐熱芯体を内挿する偏心貫通孔を有する中空保持棒を具えたウエハ保持装置を製造できる発明の提供。【解決手段】 前記偏心貫通孔を有するウエハ保持棒の製造方法において、中空略円筒状の石英ガラス母材51を加熱軟化させながら軸方向に引き伸ばし、中空小径管70を製造した後、該小径管70の側面を研削その他の機械加工により除去して軸穴5を偏心させ、該軸穴5を偏心させた小径管70の厚肉側に保持溝6を刻設したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

多数のウエハ保持溝を刻設した石英ガラス製保持棒であって、該保持棒の軸心に対し、溝切込み位置より離れる方向に偏心した偏心貫通孔を有するウエハ保持棒の製造方法において、中空略円筒状の石英ガラス母材を加熱軟化させながら軸方向に引き伸ばし、必要に応じ所定の外径加工を施して、断面円形若しくは多角形状の中空小径管を製造した後、該小径管の側面を研削その他の機械加工により除去して軸穴を偏心させ、該軸穴を偏心させた小径管の厚肉側に保持溝を刻設したことを特徴とするウエハ保持棒の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  C03B 20/00

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  C03B 20/00 K

Fターム (3件)：

4G014AH00 ,  5F031HA63 ,  5F031HA64

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウエハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-066732   出願人：株式会社山形信越石英, 信越石英株式会社
• ファイバグレーティングの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-228995   出願人：古河電気工業株式会社
• 半導体熱処理用石英ガラス製品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-173749   出願人：株式会社山形信越石英, 信越石英株式会社
• 特開平3-001528