特許
J-GLOBAL ID：200903029081387536

結晶方位測定装置

発明者：
宇山 喜一郎

宇山 喜一郎 について

, 
新井 健治

新井 健治 について

, 
松下 央

松下 央 について

, 
水口 弘

水口 弘 について

, 
篠原 正治

篠原 正治 について

, 
園田 正明

園田 正明 について

, 
富澤 雅美

富澤 雅美 について


出願人/特許権者：
東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社

東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-173545
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009663
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、回転角の基準位置測定を不要として、結晶面方位を短時間で正確に求めることを目的とする。【解決手段】 略円板状結晶である被検体1について正規位置及び表裏反転位置それぞれでδ回転を行ったときのX線検出器5のピーク出力を与えるδ読み値δ0 + 及びδ180 + より被検体1のマーク17に対する周方向の所定の結晶面の方位を計算するデータ処理部14を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
略円板状結晶でありその周囲に方位を示すマークを持つ被検体をそのマークを基に位置決めする位置決め手段と、前記被検体の盤面に沿って当該被検体側面の1点であるC点に向けてX線ビームを放射するX線源と、前記C点より略前記盤面に沿って回折される回折X線を検出するX線検出器と、前記盤面に直交し略前記C点を通るδ軸について前記X線源及び前記X線検出器を前記被検体に対し一体的に相対回転させるδ回転機構とを備え、前記被検体の前記マークに対する周方向の前記所定の結晶面の方位を測定する結晶方位測定装置において、前記被検体について正規位置及び表裏反転位置それぞれで前記δ回転を行ったときの前記X線検出器のピーク出力を与えるδ読み値δ0 + 及びδ180 +より前記被検体の前記マークに対する周方向の前記所定の結晶面の方位を計算するデータ処理部を有することを特徴とする結晶方位測定装置。
IPC (2件)：
G01N 23/20 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01N 23/20 ,  H01L 21/66 N
Fターム (28件)：
2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA13 ,  2G001JA11 ,  2G001KA08 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001MA06 ,  2G001PA14 ,  2G001QA01 ,  2G001QA03 ,  2G001SA02 ,  4M106AA01 ,  4M106AA07 ,  4M106AB15 ,  4M106AB17 ,  4M106CB17 ,  4M106DH25 ,  4M106DH34 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM