結晶方位決定装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231413
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064252
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、2方位のみの測定で結晶格子面傾斜角を精度よく測定することを目的とする。【解決手段】回折点を通るδ回転軸に直交するφ回転軸回りにX線源1、X線検出器3及びδ駆動部7を一体でφ回転させるφ駆動部8と、φ回転によって入射X線ビーム及び回折X線を含むδ回転面を0度及び90度に固定し該0度及び90度のそれぞれでX線源1、X線検出器3を一体でδ回転軸回りに回転させたときのX線検出器3のピーク出力を与えるδ回転量の読み値、δ0 + 及びδ90+から結晶4の格子面法線のφ回転軸に対する0度及び90度方向の傾斜角を計算するデータ処理部とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検体である結晶の被検査面にペンシル状X線ビームを放射するX線源と、前記ペンシル状X線ビームにより前記結晶の格子面で回折された回折X線を検出するX線検出器と、前記ペンシル状X線ビームを含む面であるδ回転面に沿って前記回折点を通るδ回転軸回りに前記X線源及び前記X線検出器を一体でδ回転させるδ駆動部と、前記δ回転軸に直交するφ回転軸回りに前記X線源、前記X線検出器及び前記δ駆動部を一体でφ回転させるφ駆動部と、前記φ回転によって前記δ回転面を0度及び90度に固定し該0度及び90度のそれぞれで前記δ回転を行ったときの前記X線検出器のピーク出力を与えるδ回転量の読み値、δ0 + 及びδ90+ より前記結晶の格子面法線の前記φ回転軸に対する前記0度及び90度方向の傾斜角δ0 及びδ90又は最大傾斜の方位角φmax とその方位での傾斜角δmax を計算するデータ処理部とを有することを特徴とする結晶方位決定装置。

IPC (2件)：

G01N 23/20 , G01N 23/207

FI (2件)：

G01N 23/20 , G01N 23/207

引用特許：

出願人引用 (10件)

単結晶インゴットの方位測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-207372 出願人：理学電機株式会社
特公平8-020384
特開平1-285844

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審査官引用 (6件)

単結晶インゴットの方位測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-207372 出願人：理学電機株式会社
特公平8-020384
特開平1-285844

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