ディスク表面の欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-019133
公開番号（公開出願番号）：特開2009-180590
出願日： 2008年01月30日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：

【課題】ディスク表面に発生する線状,円弧状欠陥に対して、周期的に発生する線状,円弧状欠陥と、孤立に発生する線状,円弧状欠陥とを分類して検出する。【解決手段】ディスク表面を送光系(101、102)により投光し、その正反射光、散乱光を受光系(102、103、104、105、202)によって受光し、その信号に対して2次元周波数フィルタ処理(4013)により欠陥の顕在化を行う。次に、線状,円弧状欠陥の特徴量である,欠陥幅,長さ等のパラメータにより欠陥判定処理(4015)を行い、線状,孤立欠陥候補を抽出する。次に、周期性特徴量である、欠陥の発生方向,欠陥同士の間隔,発生座標等のパラメータにより周期性判定処理(4016)を行うことによって、周期的に発生する線状,円弧状欠陥と、孤立に発生する線状,円弧状欠陥とを分類して検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ディスク表面に光を照射するステップと、前記ディスク表面からの反射光から線状の欠陥を検出するステップと、検出された線状の欠陥に対して周期性の判定を行うステップと、を含み、前記周期性判定の結果に基いて孤立的に発生する線状の欠陥と周期的に発生する線状の欠陥を分類して検出することを特徴とするディスク表面の欠陥検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/95

FI (1件)：

G01N21/95 A

Fターム (12件)：

2G051AA71 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BB05 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 2G051EC06

引用特許：

出願人引用 (2件)

ディスク表面検査装置における欠陥種類判別方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-361346 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
特許第3732980号公報

審査官引用 (4件)

特開昭63-042453
ハードディスクの欠陥検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-066995 出願人：グローリー工業株式会社
特開昭62-163952

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