特許
J-GLOBAL ID：200903029204030425
ダイヤモンドの平坦化法および研磨法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034632
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041388
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】 その上に微細配線等を安定的に形成可能なダイヤモンド表面を短時間で形成することができる、ダイヤモンドの平坦化ないし研磨法を提供する。【構成】 ダイヤモンドの表面に、該ダイヤモンドと異なる材料からなる平坦な被膜を形成した後、ドライエッチングにより、前記ダイヤモンドと被膜との双方をエッチングし得る条件下で、前記被膜およびダイヤモンド表面の凹凸を除去して、該ダイヤモンドの表面を平滑化する。
請求項（抜粋）：
乾式法によりダイヤモンド表面を平坦化させるに際し、該ダイヤモンド表面凸部の減削速度を、該ダイヤモンド表面の凹部の減削速度より相対的に大きくすることを特徴とするダイヤモンドの平坦化法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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特開平4-331800
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特開昭64-062484
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特開平3-165580
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