特許
J-GLOBAL ID：200903029263050855

光波干渉測定装置

発明者：
宮倉 常太

宮倉 常太 について

, 
鳴海 達也

鳴海 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-230505
公開番号（公開出願番号）：特開2008-051749
出願日： 2006年08月28日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。【解決手段】ベースプレートと、これの上に置いたブロックゲージの干渉縞画像を複数得る。複数の画像中、2個の画像において、同一位置の画素間の輝度値の差を得、他の2個の画像の組み合わせについても、同様に輝度値の差を得る。これらの差について画素ごとに総和を取り、その総和の値を輝度に対応させた画像を作る。ベースプレートとブロックゲージの境界部分80は、干渉縞が生じないので総和が小さくなり、干渉縞が生じている部分82は、画像間の輝度の差が大きいので総和は大きくなる。この画像に対し、適切な二値化処理を行い、ベースプレートとブロックゲージの境界部分80を抽出する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
光源からの所定波長の光を分割し、その一方を、高さに差のある複数の表面にて反射させ、分割された他方の光と干渉させて、複数の表面に表れる干渉縞同士の位相ずれに基づき前記複数の表面の高さの差を測定する光波干渉測定装置であって、 前記分割された光の一方に対し、光の位相を変化させる位相シフト手段と、 前記複数の表面の干渉縞の画像を、位相シフト手段により位相を変化させて複数取得する手段と、 取得された複数の干渉縞の画像に基づき、画像における複数の表面間の境界を抽出する境界抽出手段と、 抽出された境界に基づき、干渉縞の位相ずれの算出対象となる領域を決定する対象領域設定手段と、 を有する光波干渉測定装置。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/02
FI (2件)：
G01B9/02 ,  G01B11/02 G
Fターム (48件)：
2F064AA01 ,  2F064AA15 ,  2F064CC02 ,  2F064EE02 ,  2F064FF01 ,  2F064FF06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG40 ,  2F064GG44 ,  2F064GG53 ,  2F064GG59 ,  2F064GG61 ,  2F064GG64 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA12 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD09 ,  2F065DD19 ,  2F065FF16 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065FF69 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL35 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065UU07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3351857号明細書
審査官引用 (10件)
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