図形の輪郭の抽出方法、パターン検査方法、パターン検査装置、プログラムおよびこれを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204478
公開番号（公開出願番号）：特開2003-016463
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】複雑な輪郭形状を有するパターンであっても容易にその輪郭を抽出できる方法および装置を提供する。【解決手段】パターン検査装置100が備えるパターンユニット130は、SEM110からパターンP2の画像を取得する画像取得部132と、このパターン画像に対して、円図形、楕円図形、矩形図形、両端のうち少なくとも一端が半円、半楕円および放物線のいずれかで置換された第1の矩形図形、四隅のうちの少なくとも一隅が1/4円もしくは1/4楕円で置換された第2の矩形図形のいずれかを少なくとも含み、各構成部分ごとにエッジ探索方向が予め定義付けされている検査用図形を作成し、この検査用図形で画定されるパターンP2のROI12を定義するROI選択部134と、この検査用図形に基づいてパターンP2のエッジを探索してその輪郭情報を取得する輪郭抽出部138と、を含む。

請求項（抜粋）：

検査対象である被検査図形の画像を取得する手順と、前記画像に対して、円図形、楕円図形、矩形図形、両端のうち少なくとも一端が半円、半楕円および放物線のいずれかで置換された第1の矩形図形、四隅のうちの少なくとも一隅が1/4円もしくは1/4楕円で置換された第2の矩形図形、並びに、次式【数1】で表される閉曲線図形のいずれかを少なくとも含み、かつ、各構成部分ごとにエッジ探索方向が予め定義付けされている検査用図形によって前記被検査図形の検査領域を定義する手順と、前記検査用図形に基づいて前記被検査図形のエッジを探索して前記被検査図形の輪郭情報を取得する手順と、を備える、図形の輪郭の抽出方法。

IPC (4件)：

G06T 7/60 250 , G06T 1/00 305 , G06T 3/00 500 , H01L 21/66

FI (4件)：

G06T 7/60 250 C , G06T 1/00 305 B , G06T 3/00 500 A , H01L 21/66 J

Fターム (33件)：

4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB11 , 4M106DB21 , 4M106DJ11 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CE12 , 5B057CF05 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB08 , 5B057DC09 , 5B057DC17 , 5B057DC23 , 5B057DC33 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA14 , 5L096DA02 , 5L096EA43 , 5L096FA04 , 5L096FA05 , 5L096FA06 , 5L096FA37 , 5L096FA62 , 5L096FA67 , 5L096JA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

画像測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-164157 出願人：株式会社ニコン
位置認識マーク及びTABテープ及び半導体装置及びプリント基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-027989 出願人：東芝マイクロエレクトロニクス株式会社, 株式会社東芝
パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-258234 出願人：株式会社ナノジオメトリ研究所

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