研磨工具

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127916
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317797
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】曲率変化の大きい非球面形状の研磨に際し、被加工面の曲率変化にスムーズに追従することができかつうねりの平滑化を効率良く行なうことができ、レンズやミラー等の光学素子を高精度に研磨できる研磨工具を提供する。【解決手段】光学素子等の被加工面に対して十分小さい径を有する円柱状に形成された工具基台5に、ピッチで形成されたポリシャ2、垂直方向に容易に変形可能な板状部材としての板ばね3、およびポリクロロプレンゴムからなる弾性体4を取り付けて研磨工具1を構成する。曲率が大きく変化する非球面形状の研磨に際して、ポリシャ研磨面は、研磨中に生じるせん断力によってピッチポリシャが破壊されることなく、曲率が大きく変化する被加工面Lにスムーズに追従して被加工面L全面を均一に研磨することができ、さらに、小周期のうねりの凹凸形状には追従することなくうねりを効率良く平滑化することができる。

請求項（抜粋）：

ポリシャと該ポリシャを保持する弾性体と前記ポリシャおよび前記弾性体を取り付ける工具基台を備えた研磨工具において、前記ポリシャと前記弾性体との間に薄い板状部材を介在させてあることを特徴とする研磨工具。

Fターム (6件)：

3C049AA07 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049AC04 , 3C049CA01 , 3C049CB01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公昭56-046952
特公昭40-028753
特開昭52-058192

全件表示

前のページに戻る