特許
J-GLOBAL ID：200903029464781700
光平面回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135588
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326662
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 光平面回路において90°光路変換を行なうための安価で製作容易な反射面を提供し、光軸が直交した光素子間の光結合回路の構成を簡略にする。【解決手段】シリコン基板20上に形成した石英系材料の薄膜21から、ドライエッチングによって光導波路21aの端面21cを形成し、ウエットエッチングの等方性を利用してサイドエッチングで形成される45°傾斜の反射面25を反射体23に形成する。反射面25はダイシングによって加工してもよい。端面21cから出射する光ビーム24は反射面25で上方に光路変換される。反射面の上方にPD22をはんだバンプ30によって容易に一括し保持できる。反射面には金属や光選択性材料などをウエーハレベルで容易にコーティングすることができる。
請求項（抜粋）：
平板状の基板上に形成された薄膜から形成され、前記基板表面に対しほぼ直角に形成された光の出射または入射する端面を有する光導波路と、前記平板状の基板上に形成された前記薄膜から形成され、前記光導波路の前記端面に対向して前記光導波路の光軸に対し45°上向きに傾斜した反射面を備えた反射体とを有する光平面回路。
引用特許：
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